KLA P-7 探針式臺階儀

KLA 探針式臺階儀介紹：

KLA P-7 探針式臺階儀是KLA公司的探針式臺階儀系統。KLA P-7 探針式表面輪廓儀建立在P-17臺式探針輪廓分析系統的成功基礎之上。它保持了P-17技術的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了性價比。KLA P-7 探針式臺階儀可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。

從可靠性表現來看，KLA P-7 探針式臺階儀具有良好測量重復性的性能。UltraLite傳感器具有動態力控制，良好的線性，和良好的垂直分辨率等特性。友好的用戶界面和自動化測量可以適配大學、研發、生產等不同應用場景。

產品特點：

• 臺階高度:幾納米至1000µm.平整的掃描平臺

• 微力恒力控制:0.03至50mg

• 樣品全直徑掃描，無需圖像拼接

• 視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機

• 圓弧校正:清空由于探針的弧形運動引起的誤差

• 生產能力:通過測序，模式識別和SECS/GEM實現全自動化

測量原理：

KLA P-7 探針式臺階儀采用了 LVDC 傳感器技術，LVDC傳感器利用電容的變化跟蹤表面地形。電容變化是由在兩個電容板之間移動的薄金屬傳感器葉片的運動引起的。在探針跟蹤表面時，傳感器葉片的位置會發生變化，從而導致電容的變化，然后將電容變化轉換為地形信號。LVDC 設計的優點是質量小，葉片線性運動，從而將滯后和摩擦降到很低。這種設計能夠在整個垂直范圍內進行精確、穩定和高分辨率的測量 。

主要應用：

KLA 探針式臺階儀特性及擴展選項：

探針掃描

掃描載臺具有150mm的掃描范圍以及最大1mm的掃描高度范圍，從而保證高質量的2D和3D掃描數據。

臺階重復性

在1微米階高的重復性為0.4納米。這歸因于極低噪音電子元件，亞埃分辨率的電容式傳感器，以及高平整度的平晶基座。

Apex軟件

Apex分析軟件通過提供調平、濾鏡、臺階高度、粗糙度和表面形貌分析技術的擴展套件，增強了KLA P-7 探針式臺階的標準數據分析能力。Apex支持ISO粗糙度計算方法以及如ASME之類的本地標準。Apex還可用作報告編寫平臺，具有添加文本、注釋和是/否合格的準則。Apex提供八種語言的版本。

自動化測量

自動化測量包括圖案識別、1000個量測序列點和序列隊列功能，可以提高產量。圖案識別與自動校準相結合，可減少平臺定位誤差，并實現系統間配方的無縫傳輸。自動化測量與特征檢測、特征發現、Apex軟件充分集成后可以實現自動化收集和報告數據的功能。

3D成像

通過3D掃描可以得到表面的三維成像，呈現出彩色三維圖像或自上而下的等高線圖像。可以從中提取截面/線中的三維或二維數據。

應力分析

能夠測量在生產包含多個工藝層的半導體器件期間所產生的應力。使用應力卡盤將樣品支撐在中性位置并詳盡測量樣品翹曲，然后通過應用Stoney方程來計算應力。2D應力通過在直徑達150mm的樣品上通過單次掃描測量，無需圖像拼接。3D應力的測量采用多個2D掃描，并結合θ平臺在掃描之間的旋轉對整個樣品表面進行測量。

離線分析軟件

離線軟件可以創建掃描和序列配方，以及分析Profiler或Apex數據。

產品參數：

KLA P-7 探針式臺階儀測量圖：